High Purity Water
Tùy thuộc vào từng ngành sản xuất mà có yêu cầu tiêu chuẩn chất lượng nước sạch khác nhau. Quy trình xử lý nước tinh khiết (UPW) của các nhà máy thường có các quy trình khử dầu, vi lọc, siêu lọc, chiếu tia cực tím, khử trùng / vệ sinh. Do đó, việc xác định mức độ ô nhiễm trong nước như: độ dẫn điện, oxy (hòa tan), độ đục, oxy hóa khử (ORP), pH, tổng carbon hữu cơ [TOC] và các phép đo đặc biệt cho các ion.
Chlorine, Ozone, Chlorine dioxide
Chlorination, ozonation and chlorine dioxide (ClO2) là những kỹ thuật được sử dụng phổ biến để khử trùng và làm sạch nước siêu tinh khiết và các hệ thống xử lý. Các phép đo nồng độ Clo hòa tan, ozone và ClO2 là một phần thiết yếu của quy trình xử lý nước có độ tinh khiết cao.
Conductivity & Resistivity
Trong quy trình xử lý nước tinh khiết, đo độ dẫn điện hoặc điện trở suất là chỉ số phổ biến nhất của để phát hiện sự nhiễm ion.
Nước siêu tinh khiết dễ bị ô nhiễm do các dấu vết của carbon dioxide từ không khí đi qua các lỗ rò rỉ nhỏ hoặc khuếch tán qua thành ống. Khí cacbonic tạo thành axit cacbonic dẫn điện trong nước. Vì vậy, các đầu dò độ dẫn điện thường được đưa trực tiếp vào đường ống chính của hệ thống nước siêu tinh khiết để theo dõi liên tục để phát hiện ô nhiễm. Các đầu dò này chứa cả cảm biến độ dẫn điện và nhiệt độ để có thể bù nhiệt độ để đảm bảo sự chính xác cho phép đo trong nước tinh khiết.
Oxygen (dissolved)
Các quy trình sản xuất vi điện tử công nghệ cao thường yêu cầu nồng độ oxy hòa tan (DO) thấp ở trong nước siêu sạch để ngăn chặn quá trình oxy hóa. DO trong nước và hơi nước của nhà máy điện phải được kiểm soát ở mức độ để giảm thiểu sự ăn mòn.
Các tạp chất trong nước siêu sạch dùng để rửa như hàm lượng oxy hòa tan cao, chất bẩn hữu cơ TOC và bọt khí có thể gây ra sai sót lớn.
pH – Redox (ORP)
Việc đo kiểm soát độ pH ở nước siêu sạch một cách chính xác cần có thiết bị chuyên dụng đáng tin cậy.
Đo độ pH trong nước có độ tinh khiết cao là một thách thức khó khăn. Độ dẫn điện thấp của nước tinh khiết kết hợp với tính dễ bị nhiễm bẩn, sự thay đổi của các điện cực và các hiệu ứng nhiệt đặc biệt gây khó khăn. Do đó đòi hỏi thiết bị đo pH phải phù hợp và đáp ứng được với những vấn đề trên, mà vẫn chính xác đáng tin cậy.
Silica
Trong các hệ thống xử lý nước siêu sạch, mức độ silica thường sẽ tăng nếu có bất kỳ trục trặc nào trong quá trình sản xuất. Silica là một trong những khoáng chất có trong nước, trong ngành công nghiệp sản xuất chip, silica có khả năng tồn tại trên tấm wafer của vi mạch khi UPW khô đi, điều này có thể dẫn đến giảm năng suất đáng kể.
Sodium
Chất lượng nước siêu sạch rất quan trọng đối với tuổi thọ của các thiết bị ngành công nghiệp. Phép đo natri nhanh chóng để phát hiện khả năng nhiễm muối nguyên nhân gây ra sự ăn mòn của thiết bị.
Do đó, giám sát nồng độ natri đã trở thành một trong những yếu tố quyết định chất lượng nước cực kỳ quan trọng.
TOC
Tổng chất rắn hòa tan trong nước siêu sạch góp phần vào sự sinh sôi của vi khuẩn. TOC có thể đến từ nước cấp được sử dụng để sản xuất UPW, từ các thành phần được sử dụng để truyền, từ các hoạt động sản xuất và làm sạch của hệ thống đường phụ kiện và van bẩn.
Turbidity
Có nhiều phương pháp để xác định các chất gây ô nhiễm trong nước, tuy nhiên việc đo độ đục vẫn được coi là chỉ số có ý nghĩa về sự thay đổi chất lượng nước. Sự thay đổi đột ngột về độ đục có thể chỉ ra một nguồn ô nhiễm hoặc có thể báo hiệu sự cố trong quá trình xử lý nước.
